
设备的研发逻辑,加速国产设备技术迭代与追赶进程。 对于半导体设备研发而言,数字孪生技术能够为设备创建全维度的虚拟复制品,在对实际设备进行改造与研发前,先在数字空间中通过虚拟复制品进行全工况的预测、研究与改进。这意味着,研发团队无需制作物理原型,就能获取设备最优尺寸等关键硬件信息;在实际晶圆加工前,也可
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发布时间:08:29:27
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